Gocator 4000 Serie konfokale Linien Sensoren für hochpräzise 3D Inline Messung

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Anwendungsbereiche
Die koaxial konfokalen Linien-Sensoren der Gocator 4000 Serie sind für industrielle Inline Inspektion konzipiert. Sie kommen in der Halbleiterfertigung, bei der Prüfung von Unterhaltungselektronik, bei EV Batterie Produktion und in anderen Fertigungsprozessen zum Einsatz, wo hochpräzise 3D Messungen von Form, Höhe und Konturen benötigt werden. Die Sensoren liefern schattenfreie Daten selbst bei komplexen Oberflächen und steilen Merkmalen.
Häufige Fragen zu LMI Gocator konfokale Liniensensoren
Konfokale Linien Sensoren erzeugen 3D Daten entlang einer schmalen Linie mit hoher Punktdichte. Die koaxiale optische Architektur der Gocator 4000 Serie minimiert Schatteneffekte und ermöglicht genaue Messungen steiler und komplexer Formen.
Die Sensoren liefern bis zu 1920 Punkte pro Profil mit X Auflösungen bis 1,9 µm und hohen Scanraten von mehreren Kilohertz, um Inline Prüfanforderungen in schnellen Fertigungsumgebungen zu erfüllen.
Die konfokalen Linien Sensoren werden in Halbleiterfertigung, Konsumelektronik, Batteriezellenproduktion und anderen Präzisionsfertigungen eingesetzt, wo feine Merkmale, Konturen und Oberflächen zuverlässig erfasst werden müssen.
Technische Daten des LMI Gocator konfokale Liniensensoren
5500 Serie
| Gocator G5504 | Gocator G5512 | Gocator G5516 | |
|---|---|---|---|
| Datenpunkte/Profil | 1792 | 1792 | 1792 |
| Scanrate (Hz) | 2100 - 39000 | 4200 - 40000 | 3800 - 38000 |
| Auflösung X (μm) | 2,5 | 6,5 | 9,9 |
| Linearität Z | 0,03 | 0,07 | 0,04 |
| Wiederholgenauigkeit Z (μm) | 0,07 | 0,17 | 0,42 |
| Auflösung Z (μm) | 0,15 | 0,35 | 0,85 |
| Messabstand (mm) | 7,8 | 19,1 | 61,3 |
| Messbereich (mm) | 1,1 | 3 | 5,5 |
| Messbreite (mm) | 4,3 | 11,6 | 17,0 |
| Abmessungen (mm) | 60x191x303 | 91x354x419 | 113x358x440 |
| Gewicht (kg) | 5 | 19 | 21 |

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